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Objetivo de Sputtering de Titanio de Alta Pureza
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Objetivo de Sputtering de Titanio de Alta Pureza

La pulverización es un proceso mediante el cual los átomos son expulsados de un material sólido objetivo debido al bombardeo del objetivo por partículas energéticas. La extrema miniaturización de los componentes en la industria de semiconductores y electrónica requiere objetivos de pulverización de alta pureza para la deposición de películas delgadas.

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  • Description
  • Grado de material: Grado 1, Grado ASTM 2, Grado 5: Ti6Al4V

    Estándar: ASTM B 337/B338, ASTM B385-91, ASTM381, ISO 5832/2, JIS H4650, Din 17851

    Pureza:Alta pureza (99.5%, 99.995%)

    Forma: Discos (Diámetro <350mm), Grosor>1mm Rectángulo (Longitud 1800mm, Ancho 400mm Grosor>1mm

                 Tubo (Objetivo rotatorio, OD: 20mm~160mm, Grosor: 2-20mm, Longitud: hecho a medida OD>160, Grosor >8mm, longitud <200)      

    Descripción del objetivo de pulverización de titanio:

    El titanio es un material que se utiliza ampliamente en relojes, implantes biomédicos, brocas, laptops, etc. En su forma metálica pura, el titanio es lustroso y de apariencia blanco plateado. Es un material resistente y se puede fabricar fácilmente cuando se calienta. Sus características fuertes y ligeras, así como su excelente resistencia a la corrosión, lo hacen ideal para cascos de transatlánticos, motores de aviones y joyería de diseño. El titanio es un material biocompatible y, por lo tanto, se ha utilizado en herramientas quirúrgicas e implantes médicos. El titanio generalmente se evapora en vacío y se deposita como recubrimientos para fines de desgaste y decorativos, semiconductores y aplicaciones ópticas.
    Aplicación del objetivo de pulverización de titanio: 

    Película depositada de nitruro como película delgada decorativa, película depositada oxidada a TiO2 como divisor de haz o aislante.

    Propiedades físicas del titanio:

    Densidad: 4.51g/cm³ Punto de fusión: 1660°C; Punto de ebullición: 3287℃

    Conductividad térmica: A 25°C, la conductividad térmica del titanio es 14.99 W/(m·K)
    Coeficiente de expansión: El coeficiente de expansión del titanio es 8.36×10^-6/°C
    Módulo de elasticidad: El módulo de elasticidad lineal del titanio es 115 GPa y el módulo de elasticidad cortante es 44 GPa.

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